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1.ADTダイシング製品
  1)ダイシングソー
   8020シリーズ
   7100シリーズ
   7200シリーズ
   
7900シリーズ
       Duo
   特徴とオプション
  2)ダイシングブレード
   ニッケルボンド
   レジンボンド
   メタルシンター

  3)周辺装置
   ウエハーマウンター
  4)パンフレット
  5)製造中止装置

2.ダイシングソリューション
 1)アプリケーション
 2)プロセスソリューション
 3)カスタマイズドソリューション


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<ADTダイシング製品>


ダイシングソー
 ・7100シリース

   2"と4"スピンドル 標準ダイシング装置
                 → 7120・7130
   進化するADTダイサー   → 各種改善強化拡張オプション充実
   大型パネルダイシング装置  → 7100XLA
   傾斜カットダイシング装置  → 71TS
 ・7200シリース
   完全自動化 ダイシング装置 → 7200
 ・7900シリース
   スピンドル2基搭載型ダイシング装置
                 → Duo


          詳細はお問い合わせ下さい  



ダイシンブレード
 ・ニッケル ボンド ダイシングブレード
   柔らかい材料と機械加工する硬い材料に最適
 ・レジン ボンド ダイシングブレード
   硬質及び堅固な材料に最適
 ・メタル焼結 ダイシングブレード
   柔らかい材料と硬い材料に高度に自在対応

          詳細はお問い合わせ下さい  



周辺装置

 927 水リサイクル装置
   ダイシング水の水問題を解決
927外観写真


水循環     水使用量の圧倒的削減
水質安定    最適の水質、温度・水量を保証
環境保護    工業廃水の削減
コスト削減効果 運用コストの減少
特徴      循環水量 20L/分
        フィルター精度 0.02ミクロン以下
        フィルターが自己洗浄
オプション   効率的な冷却制御
        添加剤制御
        伝導率監視
        純水利用(外部モジュール)
自己洗浄    消耗部材なくコスト節約
        環境に優しい
        保守時間短縮
        設備保守 利用度改善
冷却装置    ・モジュール方式で交換が容易
        ・小電力消費 閉じた装置を冷却
        ・効果的冷却 熱交換板の利用で最適化
        ・高い安定性
        ・静寂運転
添加剤投入   ・ダイシングの品質を高めブレードの寿命を延ばす
        ・添加剤は0.03%〜0.2%に希釈
応用分野    ・水圧が変動する
        ・水温が変動する
        ・保守費が高い(中央循環装置)
        ・環境規制が厳しい
        ・環境意識が注目される
       典型的な応用分野と材質
        ・シリコンウエハ、セラミック部材
        ・サファイヤ、アルミナ、ガラス
        ・超音波洗浄(PZT)
        ・光学部品(赤外線フィルター、PLC分光器)
        ・MEMESデバイスウエハ

仕様
        流量      20L/min
        供給圧     5bar
        フィルター精度 0.05ミクロン以下
   循環機能 循環タンク   80リットル
        沈殿タンク   80リットル
        水循環     95%
        温度範囲    5〜25℃
        安定性     ±1℃
   冷却機能 冷却容量    1200W @25℃
        冷却ガス    R-407C
        制御方式    PID
        電圧      200〜230VAC 3相
        周波数     50/60Hz
        供給水圧    3〜5bar
        供給水量    7L/min
        寸法      620×1260×1720
        総重量     350Kg(空)/500Kg(満)

       オプションA オプションB
リサイクル率 99.5% 99.5%
メンテナンス スラリーバッグ
を取り替える
取換不用
棄捨 メンテナンスの時だけ
(2週間〜1ケ月毎)
小量各洗浄(〜20リットル)毎
棄捨の方法 手動 自動
添加剤 一定期間毎タンクの水は
リフレッシュする
新しい添加剤で常に水は
リフレッシュされる(自動)

          詳細はお問い合わせ下さい  


 967 ウエハーマウンター
   コンパクトな卓上型セミオートタイプのダイシングシート貼り付け機


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 【ご相談、お問い合わせ先】
   日本技術産業株式会社
   TEL:03-3942-9991
   FAX:03-3942-9996
   E-mail  info@nti-ltd.co.jp
   http://www.nti-co.jp




  *2018年3月16日 更新
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