手動ウェハマウンタ966

特定のニーズに合わせたソリューションの実装

ADTウェーハマウントシステムにより、様々な種類のテープを使用してフレームにウェーハ/基板を取り付けることができます。

このシステムは、次の2つの基本構成で提供されます。

• WM-966 - 最大8インチのウェーハ
• WM-966LA - 最大12インチのウェーハ。  

 

システムのハイライト：

• 気泡のない均一な取り付け
• UVテープ裏材の巻取りと取り外し

• 取付板温度制御
• すべてのフィルムフレームとの互換性。線形および円形のテープ切断

• 特別な要件のためのカスタムメードチャック：
  • 薄いウエハー
  • 敏感な表面
  • 複数のパネル

 

• オプション：
  • ESD保護
  • テープ節約機構

技術仕様： 

	モデル966 -8 "	モデル966 -12 "
マックス ウェハサイズ	O200 mm *	O300 mm *
マックス テープ幅	300 mm	400 mm
プレート加熱	最高80℃	最高80℃
機械寸法（WxDxH）	304×800×394mm	330×1000×560mm
重量	30 kg	60 kg

* *標準モデルを参照してください。