周辺機器

UV硬化システム955

ADT UVテープ硬化システムは、制御された環境下ですべてのUV感応ダイシングテープの接着強度を低下させます。

このシステムは、次の2つの基本構成で提供されます。

  • UV 955-8 " - 8インチまでの円形ウェーハ
  • UV 955-12 " - 12インチまでのウェーハ    

システムのハイライト:

  • 直観的なコントロールパネル
  • 有効時間制御プロセス   
  • コンパクト設計
  • 最高の安全基準への準拠
  • 環境にやさしい
  • オプション:
    • アンチオゾン窒素分布キット
    • アラームブザー

技術仕様:

  モデル955 - 8 " モデル955 - 12 "
マックス ウェハサイズ O200 mm O300 mm
実効紫外線波長 365nm 365nm
スループット 50フレーム/時 50フレーム/時
機械寸法(WxDxH) 508 x 450 x 120 mm 645×525×180mm
約 機械重量 20 kg 25キロ



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   日本技術産業株式会社
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