Advanced Dicing Technologies（ADT）は、シリコンベースIC、パッケージシンギュレーション、硬質材料 Microelectronic Components（MEC）のダイシングに使用されるシステム、ブレード、プロセスの開発と製造を専門としています。

ADTは、ますます多様化する顧客要件に対応するために、さまざまな機能、構成、自動化レベル、周辺機器の計装およびアクセサリを備えたダイシング装置を提供しています。当社の装置、ダイシングブレード、プロセスノウハウを組み合わせて、お客様に包括的なダイシングソリューションを提供します。

またＡＤＴは、製品の品質とパフォーマンスを維持しながら、お客様に最高のサービスを提供するための新しい高度な機能とオプションを継続的に開発しています。

このオプションの１つにＡＤＴならではの表面マッピングシステムがあります。これはＱＦＮアプリケーションのウエッタブルプロセスに非常に有効な、ステップカット深さを表面から±10ミクロンの精度で制御できる機能です。これは非接触型レーザセンサーで基板表面を事前にマッピングし、その情報によりブレード高さを常に変化させ一定のステップカットを行う技術です。
このオプションを活用して一段と信頼性高いＱＦＮアプリケーションの達成に、今世界で注目されています。
　　　　　この技術を動画で見る→　ADT LMS (Laser Mapping System)

次に示す多様なＡＤＴダイサーの中からお客様のニーズに対応した製品をお選び下さい。

ADT 7900シリーズには、ウェーハまたはパッケージを高スループットで同時にダイシングできる2つの対向スピンドルがあります。 ADT 7900シリーズは、製品を高性能かつ低コストでダイシングできる高精度システムです。

・メンテナンスが容易なシステムのあらゆる領域へのフルアクセス

・スループット向上のための高速自動アライメントとカットポジショニング

ADT 8020ダイシングシステムには、ウェーハを高スループットで同時にダイシングできる2つの向かい合ったスピンドルがあります。 ADT 8020は、高精度のシステムです。

直径8インチまでの製品を、高性能かつ低コストでダイシングできます。

・柔軟性-最大外径3インチのハブおよびハブレスブレードをサポートします。

・大型19インチタッチスクリーンモニターを使用した直感的な操作インターフェース

・ロッキングスピンドルシャフトによる高速で簡単なブレード交換

ADT 8030ダイシングシステムには、ウェーハを高スループットで同時にダイシングできる2つの対向するスピンドルがあります。 ADT 8030は、最大直径12インチまたは12インチ×12インチの製品を高性能かつ低コストでダイシングできる高精度システムです。

・柔軟性-最大外径3インチのハブおよびハブレスブレードをサポートします。

・効率的なウェーハ加工をサポートするブリッジタイプのフレーム

・大型19インチタッチスクリーンモニターを使用した直感的な操作インターフェース

・ロッキングスピンドルシャフトによる高速で簡単なブレード交換

7200システムは、お客様のスループットと品質の要件を満たすために、高度な自動化とプロセス監視の幅広いオプションを提供します。

最も困難なダイシングアプリケーション：シリコン、シリコン上のガラス、ガラス、BGAおよびQFNパッケージ、LTCC、セラミック、PCB、およびその他の硬質材料アプリケーション。

・ブレード摩耗予測アルゴリズムにより、高さ測定時間が短縮され、UPHが増加します

・優れたプロセス結果を実現するアトマイズウェーハ洗浄技術

傾斜スピンドルダイシングシステムは、光ファイバーコンポーネントの後方反射を抑制するために必要な垂直カットと8°角度カットの両方を提供することにより、オプトエレクトロニクスコンポーネントメーカーのニーズを満たすように設計されています。

このシステムは、垂直（0°）から最大15°の任意の角度への迅速な切り替えを提供します。

71MDダイシングシステムは、PZTなどの要求の厳しいタイトなアプリケーション向けに設計されています。このシステムには、部品測定システムの高さが装備されており、大きなZクリアランスを提供できます。また、超音波センサーアプリケーションで一般的なスピンドルの振動を最小限に抑えるためのバランスツールを提供することもできます。

2インチおよび4インチのスピンドルダイシングシステムの7120/7130ファミリーは、ニーズをサポートするための高レベルの手頃な価格と柔軟性を提供します。

・2 "-3"および4 "-5"ブレード外径をサポート大きな「Z」ストローク

・スムーズな動きとスーパーカット品質のための「X」軸エアベアリング

・ロッキングスピンドルシャフト（2インチスピンドル用）による高速で簡単なブレード交換

* 24 "×18"をカバーする2 "および4"スピンドルで利用可能な特別な7100XLA

７３００ 

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　

73xxシリーズは、角形ワークのダイシングが可能な単軸ダイシングソーです。
サイズは最大 9 インチ × 12 インチで、2 つの構成があります

　　　　　　　　

特徴と利点

・7302 ダイシングソーは、次のオプションで構成できます。

　－壊れたブレード検出器 (BBD)
　－最大 2.2 kW の高出力 2 インチスピンドル

・ 7304 ダイシングソーは、硬質材料のダイシングに対応する最大 2.5 kW の高出力スピンドルを備えた、市場で唯一の 4 インチ全自動ダイシングソーです。

・7304 は、最大外径 5 インチのブレードで構成でき、厚さ 10 mm までのワークピースを切断できます。

・ 73xx 構成可能なオプション

　－75mm × 75mm の大型ドレスステーションボード
　－UV LED硬化システム
　－排気インペラ
　－高さ測定ツール (HMT)
　－ESD キット
　－UPS
　－バーコードリーダー (内部または外部)
　－SECS GEM 通信プロトコル

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