ウエハクリーナー977

ADT 977 ウェーハクリーナーは、ソフトウェアが強化され、ハードウェアが改善されたため、以前よりもさらに柔軟、高速、堅牢になりました。

本ウェーハクリーナは、ダイシング後にワークピースをクリーニングするために設計されています。

システムは3つの基本構成で提供されています。

• WCS-977 - 8インチまでの丸型ウェーハ
• WCS-977LA -   最大12 インチのウェーハ
• WCS-977D -   スタンドアロンのコーティング/デコーティングステーション ：
  *ウェーハスピンコーティング技術
  *ダイシング時の絶対表面保護
  * 100％の汚染物除去
  *アトマイズ洗浄とN2乾燥 

977システムの特長：

• アトマイズクリーニング
• 自動蓋閉
• 直観的なコントロールパネル
• プロセス監視
• コンパクト設計
• 堅牢で振動のない
• 環境にやさしい
• オプション：
  • ビルドインミスト排気ユニット
  • CO2注入
  • カスタマイズされたチャック
  • クリーニング添加剤

　価格はお問い合わせフォームにてお問い合わせ下さい　→　●

技術仕様：

	977-200	977L-300
マックス ウェハサイズ	O200 mm	O300 mm
クリーニング方法	噴霧洗浄/  高圧洗浄	噴霧洗浄/  高圧洗浄
保存可能なレシピの数	8	8
スピナーの速度範囲	200-3000 rpm	200-2500rpm
機械寸法（WxDxH）	410×625×950mm	520×809×950mm
重量	100 kg	160 kg