セミオートウェーハマウンタ967

高速で正確で気泡のない取り付け

ADT 967半自動ウェーハマウントシステムは、ウェーハをテープに自動的にマウントするように設計されています。

• 自動制御プロセス、ハンドオペレーションフリー

• 小さなフットプリント - テーブルトップデザイン

• すばやく簡単に使用して維持しやすい

• 最小限のテープ使用量

ADT 967セミオートマチック・ウェーハ・マウント・システムは、エレガントで使いやすい製品です。
シートへのウェーハマウントには最適です。

 

技術仕様：  

サポートされているテープ	ダイシングブルーテープ/ UVテープ
サポートされるフレーム	DTF 2-8-1; DTF 2-6-1; 350-103; 350-104
サポートされているウェーハ	ラウンド6 "、8"
容量	120フレーム/時
温度制御チャックヒーター	最大65°C
真空ホルダー	ワークを保持する内部真空発生器
バッキングテープコレクタ	UVテープバッキングテープ回収機構
オプション
カスタムチャック	マルチパネル、非接触
その他のフレーム	4 "フレーム、5"フレーム
ESD	静電気除去器