＜ＰＺＴ＞

　ジルコン酸チタン酸鉛は変形／圧力の結果として物質が帯電するピエゾ電気
特性を有するセラミックである。最も普通の応用は医療業界に於ける超音波画
像である。殆どのアプリケーションではＰＺＴは一連のノンカット・スルー・
カットで垂直にダイシングされる。

主な注意点：
　・非常に厳しい切り口巾許容度
　・切り口の垂直性
　・高い露出度
　・厚み等
　・壁破壊
　・カット品質：チッピング（欠け、破損、破砕）

切断機：
　・非常に高いオートメーションと高い精度を有する７１００Ｖｅｃｔｕｓ
　　高度プロセス制御ツール

ブレード：
　・２”ハブ或は円形ニッケルブレード
　・浅いカットが通常ハブブレードで実行され、一方円形ブレードで露出度の
　　高いカットが行われる。
　・ダイヤモンド粒子サイズ：４〜８、６〜８及び１０ミクロン
　・厚さ：０．０００８”〜０．００３５”

プロセスパラメータ：
　・送り速度：０．３〜１５ｍｍ／秒
　・スピンドル速度：２５〜３０ｋｒｐｍ

ＰＺＴ