<カストマイズドソリューション>
ADTにはスキルの高い技術者、十分装備されたプロセス開発センターを有す
広汎なR&D能力があり、技術者はそこでは特定の挑戦や一般的な問題を解決す
るのに適合した設備装置、ブレードと方法を活用する。
・プロセスコントロール:
イノベーティブなプロセスコントロールツール、リアルタイムプロセス
コントロールツールで高い歩留まり、生産性を保証
・連続画像拡大装置:
1(8ミクロン/ピクセル)×8(1ミクロン/ピクセル)
・ブレード消耗予告アルゴリズム:
測定時間を1/3にし、結果UPHを高める
・アライメントアルゴリズム:
ウエーハの縮少を補正しウエーハの角度を矯正する
・チャック点灯:
チャックの下からの照明を適正に合わせ、カット品質とブレード寿命を
改善
・傾斜ブレード:
傾斜ブレードの形を保つことにより、カット品質とブレード寿命を改善
表面積が拡がるため冷却改善
・鋸歯ブレード:
表面積が拡がるため冷却改善
荷重を減らす
しかし振動があり品質に影響するかも
・PCB用特殊ニッケルブレード
”T”、”V”及び”Z”マトリックスブレードは削傷が最少、ニッケ
ルで接着され、しっかりと制御された濃密なダイヤモンドから出来てお
り、平均的な寿命を維持しながら削傷が起るのを最少に抑えている