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NTI

アプリケーション

PZT

ジルコン酸チタン酸鉛は変形/圧力の結果として物質が帯電するピエゾ電気
特性を有するセラミックです。最も普通の応用は医療業界に於ける超音波画
像です。殆どのアプリケーションではPZTは一連のノンカット・スルー・
カットで垂直にダイシングされます。

主な注意点:
 ・非常に厳しい切り口巾許容度
 ・切り口の垂直性
 ・高い露出度
 ・厚み等
 ・壁破壊
 ・カット品質:チッピング(欠け、破損、破砕)

切断機:
 ・非常に高いオートメーションと高い精度を有する7100Vectus
  高度プロセス制御ツール

ブレード:
 ・2”ハブ或は円形ニッケルブレード
 ・浅いカットが通常ハブブレードで実行され、一方円形ブレードで露出度の
  高いカットが行われます
 ・ダイヤモンド粒子サイズ:4~8、6~8及び10ミクロン
 ・厚さ:0.0008”~0.0035”

プロセスパラメータ:
 ・送り速度:0.3~15mm/秒
 ・スピンドル速度:25~30krpm

PZT