日本技術産業|半導体製造装置など信頼のハイテク製品を提供

NTI

半導体製造装置事業

セミオートウエハーマウンター967



関連文書:周辺機器


高速で正確で気泡のない取り付け

ADT 967半自動ウェーハマウントシステムは、ウェーハをテープに自動的にマウントするように設計されています。

  • 自動制御プロセス、ハンドオペレーションフリー
  • 小さなフットプリント – テーブルトップデザイン
  • すばやく簡単に使用して維持しやすい
  • 最小限のテープ使用量

ADT 967セミオートマチック・ウェーハ・マウント・システムは、エレガントで使いやすい製品です。
シートへのウェーハマウントには最適です

 

技術仕様:  

サポートされているテープダイシングブルーテープ/ UVテープ
サポートされるフレームDTF 2-8-1; DTF 2-6-1; 350-103; 350-104
サポートされているウェーハラウンド6 “、8”
容量120フレーム/時
温度制御チャックヒーター最大65°C
真空ホルダーワークを保持する内部真空発生器
バッキングテープコレクタUVテープバッキングテープ回収機構
オプション 
カスタムチャックマルチパネル、非接触
その他のフレーム4 “フレーム、5″フレーム
ESD静電気除去器