日本技術産業|半導体製造装置など信頼のハイテク製品を提供

NTI

半導体製造装置事業

ADT71MD



71MDダイシングシステムは、PZTなどの要求の厳しいタイトなアプリケーション向けに設計されています。このシステムには、部品測定システムの高さが装備されており、大きなZクリアランスを提供できます。また、超音波センサーアプリケーションで一般的なスピンドルの振動を最小限に抑えるためのバランスツールを提供することもできます。


特徴と利点


・マルチパネルハンドリング            ・低振動スピンドル

・カスタムジグ                       ・高解像度水流クーラント

・幾何学的モデルファインダー(GMF)    ・Zリニアエンコーダ

・大きなZクリアランス                ・高さ測定ツール(HMT)




注:仕様は予告なく変更される場合があります。