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NTI

半導体製造装置事業

ADT8020

8020


ADT 8020ダイシングシステムには、ウェーハを高スループットで同時にダイシングできる2つの向かい合ったスピンドルがあります。 ADT 8020は、高精度のシステムです。

直径8インチまでの製品を、高性能かつ低コストでダイシングできます。



特徴と利点


・柔軟性-最大外径3インチのハブおよびハブレスブレードをサポートします。

・1.8kWまたは2.2kWの高出力のスピンドル

・大型19インチタッチスクリーンモニターを使用した直感的な操作インターフェース

・ロッキングスピンドルシャフトによる高速で簡単なブレード交換

・SECS / GEMプラットフォーム対応





注:仕様は予告なく変更される場合があります。