ADT 8030 ダイシング システムには、高スループットでウェーハを同時にダイシングできる 2 つの対向スピンドルがあります。 ADT 8030 は、最大直径 12 インチまたは 12 インチ × 12 インチの製品を高性能かつ低コストでダイシングできる高精度システムです。
特徴と利点
・柔軟性-最大外径3インチのハブおよびハブレスブレードをサポートします。
・1.8kWまたは2.2kWの高出力のスピンドル
・効率的なウェーハ加工をサポートするブリッジタイプのフレーム
・大型19インチタッチスクリーンモニターを使用した直感的な操作インターフェース
・ロッキングスピンドルシャフトによる高速で簡単なブレード交換
・SECS / GEMプラットフォーム対応
注：仕様は予告なく変更される場合があります。