高品質処理、汚染のないデバイス

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ADT 947 CO 2 インラインインジェクタ（CO 2 バブラ）は、粒子の付着や静電気によるデバイスの損傷をなくすために設計されています。ユニットは 、ダイシングまたはクリーニングプロセスに使用される脱イオン水（DI）にCO 2ガスを溶解し、最適レベルの抵抗率を一貫して制御します。

 

システムの特長：

• 2ライン表示、モニタリング、アラーム
• 比抵抗ターゲットとレンジ設定
• 比抵抗/導電率単位が表示
• ダイシングコミュニケーション（すぐに利用可能）

水容量	3～10リットル/分
設定範囲	0.5MΩ～1MΩ
ライン電圧	110 / 220V 50Hzまたは60Hz
寸法（WxHxD）	190×446×365mm
Aprox。重量	10 kg