日本技術産業|半導体製造装置など信頼のハイテク製品を提供

NTI

半導体製造装置事業

スピンドルチラー937

費用対効果の高いソリューションでプロセスを安定させます。

関連文書:周辺機器


スピンドル冷却水の閉ループ供給用に設計されています。
安定した温度制御の水を維持します。
高いダイシング精度と品質を達成するための重要な要素です。

システムのハイライト:

  •  ・水の循環 – >水の消費量の削減
  •  ・水温コントロール – >熱膨張を最小限に抑え、高い
     ・ダイシング精度を実現
  •  ・高いポンピング容量 – >同時に3つのダイシングソーをサポート(低CoO)
  •  ・タッチパネルLCD簡単操作
  •  ・ユニークなポンピング技術 – >操作性、コンパクト設計、
     ・メンテナンスフリーの長寿命

 

技術仕様:

水流容量最高6.4リットル/分
冷却能力20℃で1000W
設定範囲8℃?35℃
温度安定性+/- 0.1℃
寸法(WxHxD)360×555×526mm
機械重量58キロ