関連文書：周辺機器

ADT UVテープ硬化システムは、制御された環境下ですべてのUV感応ダイシングテープの接着強度を低下させます。

このシステムは、次の2つの基本構成で提供されます。

• UV 955-8 ” – 8インチまでの円形ウェーハ
• UV 955-12 ” – 12インチまでのウェーハ    

---

システムの特長：

• 直観的なコントロールパネル
• 有効時間制御プロセス   
• コンパクト設計
• 最高の安全基準への準拠
• 環境にやさしい
• 
  オプション：
  
  • アンチオゾン窒素分布キット
  • アラームブザー
  • フレームシャッター

---

技術仕様：

	モデル955 – 8 “	モデル955 – 12 “
最大 フレーム直径	300 mm	400 mm
露光エリア	250 x 250 mm	Φ430 mm
紫外線波長	365nm	365nm
ランプ数	6	18
機械寸法（WxDxH）	510 x 450 x 120 mm	645×526×180 mm
約 機械重量	20 kg	35 kg