プロセスをサポートする効率的な、コンパクトなクリーニングユニット

関連文書：周辺機器

ADT 977 ウェーハクリーナーは、ダイシング後のワークピースの洗浄用に設計されています。

システムは２つの基本構成で提供されます。

• 　・WCS-977 は最大8インチまでの丸型ウェーハ
• 　・WCS-977LA は最大12インチまでの丸型ウェーハ 

977システムの特長：

• 　・噴霧洗浄
• 　・自動蓋閉
• 　・直観的なコントロールパネル
• 　・プロセス監視
• 　・コンパクト設計
• 　・堅牢で振動がない
• 　・環境にやさしい
• 　・プログラマブルシーケンス制御

　
オプション：

• 　・CO2注入
• 　・耐水性のモニタリング
• 　・イオナイザー
• 　・界面活性剤追加ノズルとタンク
• 　・テープレスクリーニング
• 　・排気ブロワー内蔵
• 　・特別にカスタマイズされたソリューション

技術仕様：

	977-200	977L-300
最大 ワークサイズ	Φ200 mm	Φ300 mm
クリーニング方法	噴霧洗浄/ 高圧洗浄	噴霧洗浄/ 高圧洗浄
保存可能なレシピの数	20	20
スピナー速度範囲	200-3000 rpm	200-2500rpm
機械寸法（WxDxH）	410×625×946 mm	570×1250×1073 mm
重量	120 kg	200 kg