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半導体製造装置事業

水リサイクル装置

水リサイクル装置 AR-927



関連文書:周辺機器


クローズドループで均一な切削水供給のために設計されています。
最適化されたダイシング、コスト削減、および環境保護のために必要な浄化、温度および流量レベルを維持するために、濾過、冷却およびポンピングを介して排水をリサイクルします。

システムのハイライト:

・水の再循環->消費量を95%削減

・効率的な冷却システム->消費電力の削減
・セルフクリーニングフィルター->メンテナンスコストの節約

・環境への影響が少い
・プロセス制御用の高度なユーザーインターフェイス(UI) 

オプション:

  • ・導電率の読み取り
  • ・界面活性剤ディスペンサー
  • ・水脱イオン(DI)モジュール
  • ・紫外線浄化ランプ 


 技術仕様:


流量容量20L/分
供給圧力4.5バー
ろ過レベル0.02μm
循環タンク80リットル
沈殿物タンク80リットル
水のリサイクル95%~99%
温度 設定範囲10°C~25°C
温度安定性±1°C
冷却能力1600 W@25°C
ガス(冷媒)R-134A
制御方法PID
寸法(W x D x H)620 x 1280 x 1720 mm
重量(空/満杯)350/500 kg